隨著(zhù)集成電路工業(yè)和半導體工業(yè)技術(shù)的發(fā)展越來(lái)越快，不僅在生產(chǎn)過(guò)程中對設備的要求越來(lái)越準確和可靠，而且對工藝和制造環(huán)境的要求也越來(lái)越高嚴格。潔凈室是對環(huán)境敏感的物質(zhì)和產(chǎn)品的過(guò)程制造環(huán)境，主要用于提高產(chǎn)量和產(chǎn)量。但通常會(huì )忽略一些微小的化學(xué)揮發(fā)性氣體，實(shí)際上它們對許多處理過(guò)程有害，尤其是在集成電路行業(yè)中。因此，為了提供“更清潔”的生產(chǎn)環(huán)境，近年來(lái)，機載分子污染物AMC已逐漸被人們所認識和重??視?？赐赀@篇文章后，你將明白AMC監測的重要性。
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物，AMC，內部來(lái)自建筑材料，設備和材料的釋放，腐蝕和光刻等過(guò)程，化學(xué)物質(zhì)逸出，人員生成，管道泄漏，設備維護和維修例如，外部存在于周?chē)諝庵械臍庀辔廴疚锖蜐崈羰业膹U氣排放被送回潔凈室。AMC監測是高科技生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵因素，尤其是在微電子行業(yè)。
那么，什么是AMC？AMC是指空氣傳播的分子污染，也縮寫(xiě)為“分子污染”。它包括一系列出現在潔凈室空氣中的污染物，它們以氣體，蒸氣和空氣中的粉塵的形式出現?；瘜W(xué)特性可以是有機或無(wú)機的；包括酸，堿，聚合物添加劑，有機金屬化合物，縮合劑和添加劑的特性。
1、AMC描述了多種化學(xué)類(lèi)型，這些化學(xué)類(lèi)型通常會(huì )導致大量潛在的工藝問(wèn)題。
2、AMC對亞微米設備生產(chǎn)的幾乎任何方面都有影響，基本上貫穿整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程和設備的終性能。
3、半導體制造工藝將300mm晶圓，銅互連和設備組件的尺寸更改為小于0.01微米，這正在加速將相應的制造環(huán)境轉變?yōu)榉肿游廴荆ˋMC）。
4、AMC監測已成為所有新型半導體制造設備設計要求中的重點(diǎn)之一。
5、過(guò)多的MC空氣分子污染物將導致一系列嚴重后果，例如廢棄的威化餅，停產(chǎn)和凈化潔凈室。因此，AMC監視非常重要。
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