隨著(zhù)現代電子工業(yè)的發(fā)展,空氣中的微小污染物成為了制程良率和設備壽命的重要影響因素。AMC空氣分析儀作為半導體行業(yè)中常用的一種檢測儀器,具有高靈敏度、高準確度、快速反應等特點(diǎn),被廣泛應用于生產(chǎn)線(xiàn)上的空氣質(zhì)量控制??諝夥治鰞x的工作原理基于質(zhì)譜技...
溶解氧分析儀是一種用于測量水中溶解氧含量的精密測試設備,廣泛應用于水質(zhì)監測、環(huán)境保護、水產(chǎn)養殖等領(lǐng)域。它可以通過(guò)電化學(xué)或光譜法等技術(shù),測量水體中氧氣分子的濃度,并將數據顯示在儀表上。分析儀的操作簡(jiǎn)單,測試結果準確可靠,是實(shí)驗室和生產(chǎn)線(xiàn)上重要...
光聲檢測器是一種利用光聲效應進(jìn)行檢測的儀器。它可以通過(guò)激光或其他光源產(chǎn)生的光脈沖激發(fā)物體表面的聲波,進(jìn)而檢測出物體的形狀、大小、密度等參數。檢測器具有高分辨率、無(wú)損檢測、快速響應等優(yōu)點(diǎn),在醫學(xué)、材料科學(xué)、工業(yè)制造等領(lǐng)域得到廣泛應用。光聲檢測...
傅立葉紅外光譜儀是利用物質(zhì)對不同波長(cháng)的紅外輻射的吸收特性,進(jìn)行分子結構和化學(xué)組成分析的儀器。通常由光源,單色器,探測器和計算機處理信息系統組成。根據分光裝置的不同,分為色散型和干涉型。對色散型雙光路光學(xué)零位平衡紅外分光光度計而言,當樣品吸收...
實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類(lèi)微量污染物的影響,對很多微量污染物極為敏感,比如氨氣或者酸性氣體都會(huì )給半導體生產(chǎn)帶來(lái)危害,盡管隨著(zhù)深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展,已經(jīng)減少了長(cháng)時(shí)間持續實(shí)時(shí)監測,而實(shí)際上AMC空氣分析儀對空氣分子污染(AMC)的實(shí)...
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